株式会社スペクトラ・コープ

分光分析の可能性を広げる、スペクトラ・コープはCarl Zeiss社製分光器の日本代理店です。

インライン向け膜厚測定装置 Emprunner

Carl Zeiss社製の小型分光器を使用し、サンプルの形状及びサイズに応じて、その都度アプリケーション毎にパッケージ化します。
フィルムやディスク形状、ガラス板、シリンダー状の物まで、顕微タイプの光学系を併用すれば微細なスポットに光を絞り込み、サンプルの膜厚状態を簡単に測定出来ます。

測定可能サンプル例

1200mmフィルム厚測定パッケージを例にあげ、エンプランナーをご紹介します。
本システムにより、長尺フィルムの膜厚ラインプロファイルが測定可能になりました。アクチュエータに取付けた最大移動量1200mmの分光反射測定部が、移動し膜厚を測定します。ディスプレイ上にグラフ表示をし、測定データは保存及びプリントアウトが出来ます。

製品仕様

測定厚み範囲 0.5-100um(光学厚みにて)実際厚みは上記を屈折率で割った数値
安全装置 エリアセンサー、非常停止スイッチ、インターロック
測定時間 15min,1200mm
電源 AC100V・50,60Hz・5A以下
測定位置 0-1200mm間を1mmピッチで設定
幅方向分解能 0.1-200mmを任意に設定
幅方向位置精度 ±0.02mm
設定波長範囲 400-1000nm
設定光出射部 5倍対物レンズ
測定スポット径 φ1mm
税込価格 ¥ 6,966,000~ ※仕様により異なる
本体価格 ¥ 6,450,000~ ※仕様により異なる

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