インライン向け膜厚測定装置 Emprunner
Carl Zeiss社製の小型分光器を使用し、サンプルの形状及びサイズに応じて、その都度アプリケーション毎にパッケージ化します。
フィルムやディスク形状、ガラス板、シリンダー状の物まで、顕微タイプの光学系を併用すれば微細なスポットに光を絞り込み、サンプルの膜厚状態を簡単に測定出来ます。
フィルムやディスク形状、ガラス板、シリンダー状の物まで、顕微タイプの光学系を併用すれば微細なスポットに光を絞り込み、サンプルの膜厚状態を簡単に測定出来ます。
測定可能サンプル例
- シリコンや酸化シリコン、窒化シリコン
- ガリウム砒素
- 酸化チタン
- フォトレジスト
- 色素膜、油膜やカラーフィルター膜
- フィルム
- コーティング剤と接着剤
- UV硬化樹脂
- 金属酸化膜、誘電体膜
- ポリマー
- 空気層
- CD、MD、DVD
1200mmフィルム厚測定パッケージを例にあげ、エンプランナーをご紹介します。
本システムにより、長尺フィルムの膜厚ラインプロファイルが測定可能になりました。アクチュエータに取付けた最大移動量1200mmの分光反射測定部が、移動し膜厚を測定します。ディスプレイ上にグラフ表示をし、測定データは保存及びプリントアウトが出来ます。
製品仕様
| 測定厚み範囲 | 0.5-100um（光学厚みにて）実際厚みは上記を屈折率で割った数値 |
|---|---|
| 安全装置 | エリアセンサー、非常停止スイッチ、インターロック |
| 測定時間 | 15min,1200mm |
| 電源 | AC100V・50,60Hz・5A以下 |
| 測定位置 | 0-1200mm間を1mmピッチで設定 |
| 幅方向分解能 | 0.1-200mmを任意に設定 |
| 幅方向位置精度 | ±0.02mm |
| 設定波長範囲 | 400-1000nm |
| 設定光出射部 | 5倍対物レンズ |
| 測定スポット径 | φ1mm |
| 税込価格 | open price ※仕様により異なる |
| 本体価格 | open price ※仕様により異なる |