分光分析の可能性を広げる、スペクトラ・コープはCarl Zeiss社製分光器の日本代理店です。

USB簡易型膜厚測定装置 Handy Lambda Ⅲ Thickness / Solid Lambda Thickness

光干渉方式による膜厚測定装置です。透明または半透明の膜に適しています。 光を膜に照射し、その光のスペクトル情報から膜厚を算出するので、非接触でサンプルを傷付けず、再現性良く測定する方法として注目されています。
反射測定にも透過測定にも対応しています。 光ファイバーでサンプルを照射するので、場所を選ばず、インライン使用も可能になりました。
アクチュエータとの併用で、簡単なマッピング膜厚測定も実現します。

製品画像

測定可能サンプル例

  • フィルム
  • シリコン、窒化シリコン、酸化シリコン
  • 接着剤、コーティング剤
  • 色素膜、油膜、カラーフィルター膜
  • 空気層
  • フォトレジスト
  • 酸化チタン
  • 誘電体膜、金属酸化膜
  • UV硬化樹脂
  • ガリウム砒素
  • CD、MD、DVD
  • ポリマー

測定不可能サンプル例

  • 塗装膜
  • 金属膜

各モデル製品仕様

モデル Handy Lambda Ⅲ Thickness Solid Lambda Thickness
測定膜厚範囲 50nm-20μm 50nm-100μm
膜厚表示分解能 0.001μm 0.001μm
測定再現性 0.01μm以下 0.01μm以下
インターフェース USB2.0 USB2.0
本体価格 open price open price

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