膜厚測定装置 Handy Lambda Ⅲ Thickness / Solid Lambda Thickness

光干渉方式による膜厚測定装置です。透明または半透明の膜に適しています。光を膜に照射し、その光のスペクトル情報から膜厚を算出するので、非接触でサンプルを傷付けず、再現性良く測定する方法として注目されています。
反射測定にも透過測定にも対応しています。
光ファイバーでサンプルを照射するので、場所を選ばず、インライン使用も可能になりました。
アクチュエータとの併用で、簡単なマッピング膜厚測定も実現します。

デモ測定で測定の可否からご相談伺います。

光源、分光装置と、ファイバー・プローブ部分からなります。使用する分光器によって、Handy Lambda Ⅲ ThicknessとSolid Lambda Thicknessの型式がありますが、お客様の要望に合わせてカスタマイズできますので、サンプルの材質や形状だけでなく検査室などでの手動測定からインライン測定まで対応します。
膜厚測定専用ソフトウェアも付属します。